叠层结构定位系统火神2号

2/3轴 线性的 半导体工业

VULCANO2是一种基于机械轴承和高端光学编码器耦合的机架堆叠轴结构。使用ETEL著名的铁芯电机，以及创新的设计原则，可以在几何和运动性能水平上获得更高的动态性能。该平台专注于简化半导体应用，可满足所有不同市场和需要更高动态解决方案的需求；事实上，即使是同类产品中最好的产品，其总体拥有成本价值主张也会最大化。客户可以放心地采用标准VULCANO2或衍生的定制解决方案，以达到更高的吞吐量、工作周期或在不损失重复性或准确性的情况下服务更重的有效负载。VULCANO2还代表了一个完美的解决方案，适用于动态、占空比和有效载荷不太严格的所有用例，尽管定位精度必须建立很长时间：提供几个小时的u级导航精度不再是一个梦想，而是来自ETEL的这一新产品的坚实现实。该平台适用于但不限于：-晶圆过程控制应用，如覆盖计量，关键尺寸和薄膜计量-后端：大型面板/基板上的倒装芯片工艺特性：-紧凑的占地面积-有效载荷高达80 kg-纳米级位置稳定性-高动态性-出色的双向重复性和位置稳定性-ISO 2洁净室兼容性