线性定位阶段美逖斯XYZT

机动化的 两轴 空气轴承

该平台是一个混合平面机械/空气轴承平台，专门用于步进和扫描应用。它是一个6轴平台，在X, Y, Z和θ方向移动。整个行程的动态平整度以及双向重复性是关键参数。该平台目前用于:-晶圆过程控制应用，如关键尺寸和薄膜计量。-晶圆切割-晶圆激光热退火也可用于线后端光刻机(掩模对准器)和一些晶圆切割应用。该平台的特点:-空气轴承运动的平直度-在Theta的无限旋转-双Z积分:粗旅行装卸和细st通道内置旅游重点调整-重力补偿器,Z(专利申请中)-偏航校正可以通过稍微改变Y1和Y2汽车,可以进一步综合在一个活跃的隔离系统完全由ETEL X和Y -旅行可以长一些限制performance Main specifications : - Total stroke: 320 mm for XY x 12 mm for Z - Speed: 1.2 m/s for XY, 0.1 m/s for Z and 15.7 rad/s for T - Acceleration: 1.2 g for XY, 0.2 g for Z and 104.7 rad/s2 for T - Position stability: ±25 nm for XY, ±15 nm for Z and ±0.2 arcsec for T - Bidirectional repeatability: ±0.4 µm for XY, ±0.3 µm for Z and ±2 arcsec for T