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XY定位系统
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…120µm -分辨率至0.2 nm -高性价比的机械/电子产品系统配置 - 由于PICMA®压电执行器 - Z级,卓越的寿命,XY, XZ和XYZ版本可用字段…
…可以组装在各种各样的配置。这个例子系统以下是ZMI使用的一些典型配置。两轴系统两轴系统(真空)3轴......
…可重复性,在更高的动态。通过嵌入对适当样本对齐的支持,该模块允许进一步控制晶圆平面,关于设备头,通过其额外的“提示”......
Z3TH组合模块正在扩大模块的范围,可以坐在现有的XY平台。Z3,4度的自由模块,提供364°θ旋转,双Z轴,粗晶圆加载的粗轴......
…或者安装在X的顶部Y平台。该模块特别适用于晶圆工艺控制薄膜计量、临界尺寸等应用。特性-无限…
...模块,完全封闭的结构,体宽120mm,两个指南和四个滑块,具有高精度,多段重复定位,结构紧凑,通用性强,适用于特殊环境。【范围……
…【技术特点】FSL40线性指南是半封口机结构,机身宽度40mm,稳定性高,结构紧凑,通用性强,适合正常工作环境,单台使用方便轴…
ASR-E系列闭环电动XY扫描阶段可从50毫米到305毫米每轴行程。阶段具有易于调节的非接触式霍尔传感器限位开关,…
垂直X.Y龙门系统采用机动皮带执行器,专为自动化准确而设计定位应用程序。执行机构:BEMA-60 (X, Y)笔划x x y:1,500x1,5000 ...
Intellidrives,Inc。
垂直X.Y龙门系统采用机动皮带执行器,专为自动化准确而设计定位应用程序。执行机构:BEMA-60 (X, Y)笔划x x y:1,500x1,5000 ...
Intellidrives,Inc。
龙门式笛卡尔机器人有大型工作区域。所有移动轴位于工作区上方。- 同步X.Y龙门式 - 行程300x300x 100(300)mm - 步进或伺服电机驱动 - 轴上的重复性......
Intellidrives,Inc。
我们的Semipaxy生产线带来了最新的数控自动化和定位钢冲压工艺。这个装置在X轴和y轴上装有可编程的止动装置。安装在现有或新的GEKA模型上…
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