组合模块定位系统z3th.

XY. 旋转 垂直的

Z3STH组合模块扩大了可以坐在现有XY平台顶部的模块的范围。Z3，4度的自由度模块提供364°θ旋转，双Z轴，用于晶片装载和卸载的粗型，以及用于焦点调节的精细，以及尖端和倾斜校正超过±0.1°。这Z3TH模块是一个不错的选择，压电基于Z-驱动器，消除了开环的滞后和非线性运动的同时，可重复性，以及移动和解决执行过程中提供更好的跟踪误差没有结束更长的时间旅行。Z3TH模块主要专用于前端类型的应用，并提供适当的解决方案，以应对需要的任何应用： - 过程工具与基板之间的对准 - 平坦度的映射 - 移动和沉降改善的第一申请与后备有关结束光刻和晶圆过程控制。特点 - 364°θ旋转 - 尖端和倾斜校正在均匀和移动和沉降和沉降改进 - 真空馈送到卡盘水平 - 双Z集成：粗大旅行加载/卸载和焦点调整的良好旅行ISO级别1洁净室兼容性 - 低径向轴向和径向跳动±1μm