物理仪器定位阶段

中风: 50mm - 240mm

Z和提示/倾斜阶段有3个轴/ Z阶段1轴闭环垂直/倾斜范围200µm / 2 mrad(开环240µm / 2.4 mrad)并联运动学为更快的响应……

中风：200,800μm

- 扫描和定位在X, Y, Z,θ,θ,θZ - 800µm×800µm×200µm线性范围- 1 mrad旋转角度提高响应能力和多轴精密:并行运动学/计量-…

中风: 100µm

…控制器、软件和可选QuickLock线程适配器的USB、rs - 232、模拟接口旅行范围100µm罚款定位高精度柔性导向系统直接实现了亚纳米分辨率的零弹目标。

中风: 100µm

- 高动态定位并扫描大型物镜 - 谐振频率1120Hz，560 Hz，配210克负载 - 典型的步骤和稳定约6 ms - 行驶范围100μm - 直接计量电容传感器......

中风：460,330,150μm

旅行范围460µm比电动驱动器更快的响应和更高的一生好定位用电容式传感器直接计量:最高线性度零场，…

中风：200,100μm

Step-and-settle 5 ms低20毫米的总体高度,便于集成旅游范围100µm或200µm通光孔径93毫米×65毫米e - 709数字压电伺服控制器在交付的范围USB、rs - 232、模拟接口兼容…

中风: 70年,50个µm

快速响应时间< 5 ms subnanometer决议:理想的跟踪包括e - 727通用串行总线控制器和软件旅行范围70µm×70µm×50µm低调简单集成:20 mm隐藏式样品持有人,自由地旋转……

中风: 50µm - 1800µm

行程范围为50至1800μm分辨率，分辨率为0.1 nm线性误差0.02％x，xy，z版本;XYZ组合可能的真空兼容版本为10-9 HPA优秀的一生，这归功于PICMA®PICOS执行器专利PICMA®...

尖端/倾斜角度为35 mrad，高光学偏转角度为70 mrad(4°)高共振频率的动态运动和快速步进-安置并联运动设计:两个正交的尖端/倾斜轴，一个共同的旋转应变中心…

- 高达20个NRAD，优异的位置稳定性 - 光束偏转至4 mrad - 并行运动学，用于增强动力学和更好的多轴精度 - 只有一个具有固定枢轴点的移动平台;防止......