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Z轴定位阶段PD72Z1XPIFOC®系列
压电
用于显微镜目标
无摩擦的指导
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特征
- 方向
- Z轴
- 类型
- 压电
- 其他特征
- 对于显微镜目标，无摩擦引导，高精度
- 中风
-
100μm.
描述
具有数字控制器，软件和可选的QuickLock螺纹适配器USB，模拟接口的完整系统旅行范围100μm精细定位目标与子NM分辨率零播，高精度挠性导向系统直接测量电容式传感器兼容元形，μManager和Matlab均可在操作显微镜共聚焦显微镜3-D成像筛选自动对焦系统表面分析由于直接位置测量运动引起的最大精度在运动平台上直接测量晶片检测的扫描参数。驱动器或引导元件的任何影响。这允许最佳的重复性，出色的稳定性和僵硬，快速响应控制。
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