垂直定位阶段P-518，P-528，P-558系列

倾斜 压电 3轴

Z和尖端/倾斜阶段具有3个轴/ Z级，带1轴闭环垂直/倾斜范围为200μm/ 2mrad（开环到240μm/ 2.4mrad）并行运动学，用于更快的响应时间和更高的多轴。精度零播放，高精度挠性引导系统由于PICMA®压电致动器的出色寿命，由于PICMA®压电执行器，由于电容传感器，最高寿命的PICMA®压电致动器透明亮度为66 mm×66毫米的最高线性。由于PICMA®压电执行器，专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘。这使它们防止湿度和失效，从而增加漏电流。PICMA®执行器比传统的聚合物绝缘致动器的寿命长达十倍。已证明没有单一失败的1000亿周期。由于零播放弯曲引导导致弯曲导轨的高指导精度是没有维护，摩擦和磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负荷能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容，在宽温度范围内工作。纳米范围内的高跟踪精度由于测量所有自由度的平行位置，以防止单个固定参考。 Undesired crosstalk of motion to another axis can be actively compensated in real time (depending on the bandwidth) (active guiding). High tracking accuracy is achieved in the nanometer range even in dynamic operation.