- 单位
- 必威体育app官方下载
- 目录
- 新闻与趋势
- 展览
XYZ定位台P-587型
压电
6轴
高精度
添加到收藏夹
比较此产品
特点
- 方向
- XYZ公司
- 类型
- 压电
- 坐标轴数
- 6轴
- 其他特性
- 高精度、无摩擦导向
- (打、击等的)一下
-
200微米、800微米
说明
-用于X、Y、Z、θX、θY、θZ的扫描和定位-800µm×800µm×200µm线性范围-高达1 mrad旋转角度-增强的响应性和多轴精度：并联运动学/计量-直接计量与电容传感器实现最高线性度-由于PICMA®压电致动器而具有卓越的使用寿命-无摩擦，高精度柔性导向系统-所有6个自由度应用领域的主动轨迹控制干涉计量纳米压印半导体测试半导体制造电容传感器的亚纳米分辨率电容传感器无接触测量亚纳米分辨率。它们保证了极好的运动线性度、长期稳定性和在kHz范围内的带宽。自动配置和快速部件交换机制和控制器可以根据需要进行组合和快速交换。所有的伺服和线性化参数都存储在机械子D连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用这些数据。适用于复杂的真空应用压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。操作时不需要润滑剂或润滑脂。无聚合物压电系统允许特别低的排气率。
目录
压电系统定位
248
页
相关搜索
- Physik仪表执行器
- Physik仪器定位台
- Physik Instrumente线性致动器
- Physik Instrumente电动执行机构
- Physik Instrumente线性定位台
- Physik仪器电动定位台
- Physik Instrumente精密定位台
- Physik Instrumente螺杆致动器
- 紧凑型执行机构
- Physik Instrumente单轴定位台
- 手动阶段
- Physik Instrumente电动执行机构
- 双轴工作台
- Physik Instrumente直流执行器
- Physik Instrumente紧凑型定位台
- 精密执行机构
- Physik仪器旋转定位台
- Physik Instrumente XY定位台
- 工业执行机构
- Physik Instrumente步进执行器
要比较的0必威体育app官方下载/10产品