这是一个高规格俄歇电子谱仪的半球形分析仪提供高吞吐量分析化学成键状态的纳米微观领域,和场发射电子枪也用于电子探针,因为它可以提供一个大型、稳定电流高度精确eucentric标本阶段可以执行绝缘体的从前被认为不可能的分析。这种结合浮动离子枪提供了多功能性来处理任何标本,如金属和绝缘材料,获取信息和化学组成信息。高灵敏度・高分辨率特性分析仪采用分析与变量的能量分辨率成为可能执行化学结合状态分析的高分辨率模式,以及高速高灵敏度模式映射。肖特基场发射电子枪的电子枪,达到图像观察3纳米的空间分辨率,以及高通量化学结合状态分析结果的大电流高达200 na。这是可能的,将电子光学技术JEOL已经发展多年的肖特基场发射电子枪采用扫描电镜和电子探针。Eucentric标本采用Eucentric阶段阶段,必要性分析设备与多个光学系统,提供高度精确高度中心再现性。自由选择90°倾斜使绝缘体困难分析成为可能。