能量色散x射线荧光光谱仪杰德- 2300 t

进行分析

JED-2300T特征分析站是一个基于“图像与分析”概念的TEM/EDS集成系统。数据管理是根据分析数据自动采集放大、加速电压等参数。有三种类型的硅漂移探测器(SDD) EDS，检测面积分别为30mm2、60mm2和100mm2。检测面积越大，检测灵敏度越大。将干式SD100GV探测器(探测面积100mm2)与JEM-ARM200F (HRP)相结合，实现了大的光接收面积和高分辨率的同时实现了“B、C、N、O”等轻元素的清晰区分。•高速元素映射干燥SD100GV探测器具有高灵敏度，检测Au催化剂颗粒只需要一分钟的测量时间。•原子分辨率映射Sr和Ti的原子色谱分离清晰。•由JEOL的EDS获得的Play Back elements映射数据保存了每一帧的每个像素的光谱，以及电子束图像。“回放”功能可以进行多边分析，包括观察一段时间内频谱的变化。在样本中出现了一种不可能被追踪到的现象，现在可以通过回放分析数据来观察。 To cut out the frames you have selected is also possible. (A patent has been applied for.) Application JED-2300T • Structural Analysis of Semiconductor Devices by Using STEM/EDS Tomography