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...需要润滑。它们的刚度允许高负荷能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容并在宽温度范围内工作。由于直接的最大精度......
Physik Instrumente.
- 1nm侧向引导精度 - 无摩擦，高精度弯曲引导系统- 负载容量至10 kg - 分辨率<1nm - 具有电容式传感器的直接计量，用于最高精度 - 直接驱动......
Physik Instrumente.
...电容式传感器小占地面积，带70毫米的侧面长度大清晰孔径30 mm×30 mm精密级纳米定位系统2轴，串行运动学。用机械无摩擦挠性关节......
Physik Instrumente.
- 紧凑型：占地面积60 mm x 60 mm - 100μm×100μm闭环行进范围（130μm×130μm，开环） - 用于成本敏感的应用 - 清除孔径20 mm×20 mm - 增强响应性和多重-axis精确度：并行......
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...... Smarpod 70.42是令人疾病的最小的六角样定位系统底板直径仅为70毫米。尽管它的整体紧凑，但它是一种强大而精确的系统可以处理......
令人生畏的GmbH.
......六角形的定位系统。由于其较大的旅行范围，它是非常多才多艺的。可选地，底板可以配备有用于工具，部件或传感器的安装柱，转换定位......
令人生畏的GmbH.
...靠近Smarpod的移动平台。与其他令人生畏的Smarpod一样，225.75也可以高真空和超高真空版本或由完全非磁性材料制成。旅行......
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SMARPOD P-SLC-17基于SLC-17的中型SMARPOD阶段在能够定位高达5 n的有效载荷的平行方向上。SMARPOD P-SLC-17基于与...相关的不同机械设计
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......范围，P-SLC-24是最通用的多轴定位之一系统可用。因为它基于SLC-24系列阶段它也可以作为高高高真空......
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...... SLL系列的车厢，实现长途旅行范围。SMARPOD P-SLL基于SLC阶段对于Y方向和SLL的运动阶段在x方向。由于这种特定的组合......
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