闭环定位阶段

中风: 50毫米- 240毫米

Z和提示/倾斜阶段3个轴/ Z阶段1轴关闭-环形垂直/倾斜范围为200µm / 2 mrad(打开-环形To 240µm…

......防止偏振方向的变化 - 子MS响应时间 - 对于直径高达100mm的镜子 -关闭-环形版本改进的线性度-优异的温度稳定性…

中风: 155、205、305、508毫米
速度: 0.1、0.1 m/s

…引用类线性阶段循环球轴承的高旅行精度和负载能力。精密滚珠丝杠，5mm螺距。消除应力的铝基，最高的稳定性。非接触电感极限…

中风: 12毫米
速度：0米/秒

…g] 13——开放环形分辨率[nm]< 1关闭-环形关闭-环形分辨率MCS2 [nm]1 (S)， 4 (L)关闭-环形…

中风: 21毫米
速度：0米/秒

…20 g)——开放环形分辨率[nm]< 1关闭-环形关闭-环形分辨率MCS2 [nm]1 (S)， 4 (L)关闭-环形…

中风: 26毫米
速度：0米/秒

…g] 26——开放环形分辨率[nm]< 1关闭-环形关闭-环形分辨率MCS2 [nm]1 (S)， 4 (L)关闭-环形…

中风：15毫米 - 25毫米

SMAC提供高速精密的XY阶段。SMAC的优点是直接驱动零侧隙系统，可以控制的精度和重复性很高。SMAC XY阶段配备标准…

中风: 50毫米- 300毫米
速度：50 mm / s - 300 mm / s

电机驱动直线导轨主要用于室内医疗检测，控制注射器的前后、左右运动轨迹，实现精确采样、目测等运动模式。车身宽30毫米…

中风: 100毫米- 1200毫米
速度：300米/秒

…滚珠丝杠:G1610滚珠丝杠传动直线定位表线性定位表由线性导轨组成......

......损害动态性能。通过齿轮/小齿轮机构确保精确旋转。rtga.阶段是由开放驱动的吗环形步进电机或关闭环形servo-step……

......损害动态性能。通过齿轮/小齿轮机构确保精确旋转。rtga.阶段是由开放驱动的吗环形步进电机或关闭环形servo-step……

…线性阶段随着内置控制器和电机编码器加入X系列系列，能够以实惠的价格使用其他X系列设备的菊花链电源和数据。只需要标准的24或48 V电源，...

…最近发布的X-LSQ-E线性阶段内置控制器和电机编码器加入x系列系列，能够菊花链电源和数据与其他x系列设备。内置电机编码器允许关闭-环形…

中风: 100毫米- 200毫米
速度: 0m /s ~ 0.1 m/s

Zaber的新东西关闭-环形线性阶段X-LRM-DE，具有硬化钢结构和循环滚珠轴承导轨，提供热稳定性和卓越的刚度。…

中风: 15毫米
速度：1毫米/秒

15毫米旅行70 × 70毫米的足迹关闭-环形Nova System微型翻译（最多50 nm分辨率）阶段用Piezo电动惯性驱动器用于Nova系统。标准版

15毫米旅行70 × 70毫米的足迹关闭-环形Nova System微型翻译（最多50 nm分辨率）阶段用Piezo电动惯性驱动器用于Nova系统。标准版

中风：100,150,25,50 mm
速度: 0.3米/秒

…校准和组装•0.5 nm关闭-环形分辨率•全预加载空气轴承•低噪声线性放大器•完整的非接触设计阶段是……