Physik仪器纳米定位阶段

中风：120,100μm

- 旅行范围至120μm×120μm×120μm - 超紧凑：44 mm×44 mm×44 mm - 分辨率为0.2 nm - 快速响应 - 无摩擦，高精度弯曲引导系统 - 由于PICMA®PICOZO，优秀的寿命执行器 - ......

中风：3,2.7,2.5μm

- 用于AFM / SPM的超高性能闭环扫描仪 - 用于生物/纳米技术的紧凑型操作工具 - 谐振频率9.8 kHz - 用于最高精度的电容式传感器 - 用于自动化的并行运动计量......

中风：0.8,1μm

用于AFM / SPM的高度线性扫描仪高达20微米分辨率，磁滞<1nm最高带宽由于闭环驱动器概念的生物技术/纳米技术谐振频率的最高分辨率操作工具4.0 kHz ...

中风：100,115,30,33μm

...晶圆定位表面测量技术纳米修印机微操纵图像加工/稳定纳米定位由于PICMA®，具有高平整度和运动直线的恒定寿命。

中风：300,200,100,45,15μm

- 对增强响应性和多轴精度的平行运动学/计量 - 旅行范围为300 x 300 x300μm - 具有电容式传感器的最高线性和稳定性 - 无摩擦，高精度弯曲引导......

中风：130,250,100,200μm

- 2-和3轴版本（XY和XYθz） - 由于PICMA®压电执行器提供专利的PICMA®PICOZO执行器，TRAVE范围为200μm - 亚域分辨率优异的寿命，专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘。这保护了它们......

中风：45毫米 - 245毫米

...由于PICMA®压电执行器组合使用显微镜，电容传感器可用于更高的性能卓越的生命周期阶段对于Picma®Piezo执行器的较长旅行范围优秀的寿命......

中风：200μm

- 6运动轴：3×线性，3×旋转 - 行程范围为200μm线性和1 mrad倾斜角度 - 增强响应性和多轴精度：并联运动学/计量 - 具有电容最高线性和稳定性的响应性和多轴精度

中风：18μm

在5 ms下的最短稳定时间与显微镜物镜的目标行驶范围18μm精细定位目标，具有由于直接测量引导的平行弯曲引导的平行弯曲引导的最小目标偏移。

中风：200μm

廉价的成本优化设计，带压电传感器的行程范围为200μm×200μm×200μm，包括E-727 USB控制器和软件较低型材，便于集成：3×1'显微镜幻灯片的20毫米清晰的光圈，...