退火DOA-320L.

设备名称·水平扩散/氧化/退火设备设备型号·DOA-320L / DOA-420设备应用·该设备主要用于掺杂和在晶体硅太阳能电池制造过程中掺杂和形成PN结。加工步骤·准备石英船和晶片→插入晶片→加载晶片→选择配方→船舶装载→管子吸尘→温度上升→氧气入口→POCL3入口→推入→DOA处理→船舶卸载→焊接→测试→晶圆卸载。特点·低压扩散，氧化和退火。·高薄层电阻技术解决方案。·专利技术，可用于硼扩散。·独特的双层嵌入式炉门结构。·用于废气处理系统的专利技术。·高速积分模块船推动机构。·高精度空气源压力稳定技术。·智能自动控制。 · MES software with independent intellectual property right. · Alarm protection for over-heating, thermocouple -break and boat collision. · Match S.C smart factory solution.