·用于高效异质结太阳能电池的变形和清洗。·预清洗→DI水漂洗→去除锯损→DI水漂洗→变形→DI水漂洗→DI水漂洗→PSC1-DI水漂洗→化学抛光(O3)→DI水漂洗→SC2处理→DI水漂洗→HF清洗→DI水漂洗→热水烘干→热风烘干。·适用MES、UPS、RFID功能。·电梯合理分布,有效避免化学液交叉污染和工艺浴反应超时。·结构布局紧凑合理,酸性区、碱性区和高洁净度区通过分区分隔,占地面积小。·先进的双层浴槽结构,有效提高400件/批的生产量。·工艺浴结合了“进、出”模式和“时间加药”模式,有效延长浴槽提升时间,减少浴槽更换周期。·加药上药采用浴槽内双磁致伸缩流量计线性检测,加药桶线性检测,调节阀流量控制结构,有效保证初始上药时间和精准加药精度。·优化和升级所有与工艺液接触的物料,避免杂质沉淀。·采用最新的低温干燥技术,确保浴槽内洁净度和控温精度,增加太阳能电池少子寿命。