光学显微镜DM3 XL

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在微电子和半导体工业的检查、过程控制或缺陷和失效分析中的速度问题。你越快发现缺陷，你的反应就越快。在大视场下，dm3xl检查系统可以让您的团队更快地识别缺陷，提高成品率。利用独特的宏观目标增加30%的视野。看得多，工作得快。为了快速扫描高达6英寸的大型组件，dm3xl提供了一个独特的宏观目标。它的放大倍数为0.7倍，一次可捕获35.7毫米的视场，比其他传统扫描物镜多30%。缺陷的宏观目标,不要机会:•-增加你的收益率•内可靠地检测发展优势不足或晶圆的中心•——检测径向膜厚度不均匀导致所有对比方法的DM3 XL使用LED照明的对比方法。LED照明提供恒定的色温，并在所有强度水平上提供真实的彩色成像。led具有长寿命和低功耗，还具有巨大的成本节约潜力。 Optical high performer With the DM3 XL, you can benefit from optical excellence at an affordable price. • - Examine sides, edges or chippings with oblique illumination: illuminate your sample from different angles as an easy and effective way to visualize topographies.