光谱椭偏仪乌维塞尔2VUV

UVISEL 2 VUV是用于VUV测量的新一代相位调制椭偏仪。它是现有的主要光谱椭偏仪，用于在最大波长范围（从147到2100 nm）上进行最快速的薄膜测量。UVISEL 2 VUV是一个半椭偏仪，适合在氮气或基本真空条件下在两种模式下工作。其机械外形经过改进，氮利用率低至6l/min，并考虑快速加载样品。八个点尺寸的选择是最小面积测量的完美选择，前面有一个快速可用的腔室，使样品装载非常合适。它采用了双高功率活力源、高通量光学器件、一个Caf2照片柔性调制器和两个先进的单色器。UVISEL 2 VUV在VUV波长下具有高灵敏度。