光谱椭圆计汽车本身

Auto SE是由HORIBA Scientific生产的椭偏光谱仪。它可以通过简单的按钮操作实现薄膜样品的自动分析。在几秒钟内，生成一个完整的分析报告，包含厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜不均匀性的信息。自动SE具有自动XYZ阶段，实时成像的测量地点和自动光斑大小选择。Auto SE适用于常规薄膜测量和器件质量控制。