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半导体树脂KrF
阻 高的热稳定性

半导体树脂
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特征

应用程序
对于半导体
其他特征
高电阻，高热稳定性

描述

GKR系列是正色调KrF光刻胶系统，覆盖了广泛的应用。•非PFOS/PFAS材料•高纵横比应用•优越的耐等离子蚀刻和离子注入•高热稳定性•宽工艺窗口•低缺陷水平•长期稳定性•垂直轮廓•宽厚度覆盖

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