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热质量流量计GF80系列
天然气
耐腐蚀
工业
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这种产品比较
特征
- 技术
- 热质量
- 流体
- 天然气
- 保护水平
- 耐腐蚀
- 应用程序
- 工业
- 其他特征
- 可编程的
- 过程的压力
-
最小值。7ψ
马克斯。90 psi
- 过程的温度
-
最小值。0°c(32°f)
马克斯。50°c(122°f)
- 体积流率
-
最小值。0 l/min (0 us gal/min)
马克斯。300升/分(79.3 us gal/min)
描述
GF80系列金属密封热质量流量控制器和仪表提高了价值驱动的金属密封应用的性能标准。对于许多工业和半导体工艺，性能和成本效率都是至关重要的。GF80系列金属密封质量流量控制器和仪表提供了这两种产品:采用与我们最畅销的GF100系列相同的快速响应传感器和专利的第4代MultiFlo™技术，它是需要高性能和价格点的操作的正确选择。搬到一个金属密封MFC带来的全部好处MultiFloTM此外/多量程功能因为没有限制可以使用气体,提高纯度的气体由于氧气渗透通过弹性体,消除和减少维护自金属密封将持续下去。•长期零稳定特性的<±0.5%每年全面•< 1秒建立时间•全面流量300 slpm•全金属密封流路径- 16µ英寸Ra表面光洁度•耐蚀Hastelloy®传感器可以在较低温度的气体容易热分解•可编程MultiFloTM capability-one•通过主动温度补偿，提供一流的温度系数规范;嵌入式自检例程和独立的诊断/服务端口;RS-485和模拟接口
目录
GF80系列
10
页面
流量，压力和蒸汽仪表
8
页面
