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热质量流量计5850 em系列
天然气
内联
高压
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特征
- 技术
- 热质量
- 流体
- 天然气
- 越来越多的
- 内联
- 其他特征
- 高压
- 过程的压力
-
最小值。0ψ
马克斯。1500 psi
- 过程的温度
-
最小值。温度:0°c(32°f)
马克斯。65°c(149°f)
- 体积流率
-
最小值。0升/分(0 us gal/min)
马克斯。300l /min (7925.2 us gal/min)
描述
5850EM系列金属密封热质量流量控制器长期稳定。超纯性能，适用于高压应用。型号5850EM / 5851EM 5850EM系列金属密封质量流量控制器测量和控制超清洁环境中的高压气体流量，广泛使用的5850E和i系列mfc的性能上建立了经过验证的稳定性。其金属密封结构和电抛光润湿表面确保了出色的流动完整性，并有助于提高整体工艺效率，无需连续监测和调整气体压力，以提供稳定的气体流量。•长期零稳定特性的< 0.2%每年全面•< 3秒结算时间和微不足道的命令改变过度/脱靶•宽流量范围——从3 sccm 30000 slpm•高压力等级- 1500 psi•可选增强流程内部完成- 5µ英寸Ra avg•移动流量传感器•越来越不敏感•TTL兼容的“阀门关闭”和吹扫功能
目录
5850 em系列
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