气体质量流量控制器GF100系列EtherCAT®

最快的和最精确的mfc电池增强的速度EtherCAT®模型GF100 / GF101 GF120 / GF120XSD GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126半导体的性能完善流程•嵌入式诊断利用实时EtherCAT®数据采集能力•极稳定的流量传感器(≤0.15%的……每年漂移)支持紧低设置点的准确性和减少维护要求•改善阀关闭本范围(≤0.15%)降低阀泄漏,减少第一晶片的影响•新增强的压力瞬态一致的交付质量流量特性的不敏感性降低串扰的灵敏度•长期零稳定<±0.15%每年全面•全尺寸流量高达300 slpm•全金属密封流道:•耐腐蚀哈氏合金T-Rise传感器提高了在高温下的测量再现性•MultiFloTM气体和范围可程序性-一个设备，•方便的用户显示和独立的诊断/服务端口有助于设备的安装、监控和故障排除