Z3TM扩大了服务平台的模块组合
该模块增加了四个独立的自由度，即沿一个旋转，一个垂直和两个倾斜轴。通过设计，该可选模块可以完全满足高级半导体应用的晶片运动配置文件，从而为任何半导体技术提供具有转钥匙解决方案的OEM。
网站：Etel S.A.
Z3TM扩大了服务平台的模块组合
该模块增加了四个独立的自由度，即沿一个旋转，一个垂直和两个倾斜轴。通过设计，该可选模块可以完全满足高级半导体应用的晶片运动配置文件，从而为任何半导体技术提供具有转钥匙解决方案的OEM。
