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亚微米精度阶段XLS-1 Ultra系列
线性
压电
分辨率分辨率
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特征
- 方向
- 线性
- 类型
- 压电
- 其他特征
- 亚微米精度，分辨率分辨率
- 中风
-
最小：27毫米（1.063英寸）
最大限度。：102毫米（4.016英寸）
- 速度
-
最小：0 mm/s
最大限度。：200 mm/s
描述
Xeryon线性阶段（XLS）是一个非常精确的线性阶段，由无噪声的超声波电机驱动。这允许以纳米精度快速定位。自锁定压电电机在没有动力时保持舞台的位置。结果，能源消耗和热量的产生大大减少。集成编码器的分辨率为78 nm。
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