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特征
- 取向
- 线性
- 类型
- 压电
- 其他特征
- 高精度，真空兼容，亚纳米分辨率
- 中风
-
最小值。27 mm(1.063英寸)
马克斯。102 mm(4.016英寸)
- 速度
-
最小值。0毫米/秒
马克斯。200毫米/秒
描述
XLS是一种由无噪音超声压电电机驱动的精密线性工作台。这允许纳米精度的快速定位。自锁压电马达在没有动力时保持舞台的位置。因此，能源消耗和热量产生大大减少。集成编码器的分辨率为310 nm。
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