利用MEMS传感器(微机电系统)记录重力场中的倾角,然后通过控制器进行数字化和线性化。数据输出通过CANopen接口或模拟信号进行。倾斜传感器有一个稳定的铝外壳(可选不锈钢)。槽可用于机械对齐(最多可达约。±7.5°)。在CANopen的情况下,为了连接目的,可以选择一个连接器或一个公/母连接器组合。外壳的铸造措施可达到防护等级ip69k,例如用于水下。MEMS传感器是利用硅块微机械技术制造的集成电路。这些微机械结构被用来形成双重能力。如果这些结构在加速度的情况下发生偏转,例如重力加速度(g),这将导致容量变化,这将被记录并使用测量技术进一步处理。 Due to the differential capacity dependency described here, the output voltage follows the function U ∝ g * sin α. In this case, the angle α is the inclination angle of the sensor measured against the g vector. These sensors measure precisely, have a long service life and are very robust. The measuring axes operate independently of each other.