氮化铝在惰性气氛的非常高的温度下稳定。此外,它是唯一提供高导热率和良好电绝缘的技术陶瓷材料。关键特性■高热稳定性■低热膨胀■高导热率■高热震动电阻高导热率为ALN适用于需要快速和均匀的热响应的应用。由于其优异的散热性能,它通常用于电子应用。而且,具有低热膨胀的高导热率使得ALN具有优异的热抗震材料,可承受快速加热和冷却。良好的耐化学性ALN耐腐蚀性尤其是卤素气体等离子体。然而,它与水和碱性水反应以产生氨气。应用■散热器和散热器■半导体加热器■高功率的基板材料,电子器件■高温下使用的传热组件■暴露于半导体过程化学品和气体的高温■等离子体曝光组件