减振平台安静的岛®

半导体制造工厂(晶圆厂)，纳米技术中心，纳米工厂，和其他精密制造和研究设施，通常包含一个带有升高假地板系统的洁净室，以适应复杂的设施要求(管道，电缆，燃气管道等)，并保持严格的清洁标准。这种地板对振动敏感的生产、检验和计量设备的安装提出了挑战。升高的地板不能为这些工具提供必要的安静的振动环境。TMC的“安静岛”是一种创新的解决方案，它用锚定在下面的底层的“安静岛”取代了抬高楼层的一部分。“安静岛”由一个洁净室兼容的平台顶部和一个应用程序和特定场地的支撑结构组成。“安静岛”独特的主要支撑元素和核心技术是STACIS III主动减振系统。这种“刚性”风格的惯性减振支持系统对于任何振动敏感仪器来说都是至关重要的，它使这些仪器能够在噪音较大的环境中达到最高标准。STACIS III兼容自动化晶圆加工工具、高分辨率电子束成像工具、离子束铣削工具，以及任何内置振动隔离系统的工具，无论是被动的还是主动的(见我们关于主动隔离器的堆叠主动系统的白皮书)。此外，它提供了最大的振动隔离在最宽的频率范围内的商业可用。而且，“硬装”设计非常硬，因此对于头重脚轻的高大工具来说，不存在稳定性问题。