圆形防振安装Stacis®III.

橡胶 主动振动隔离器

Stacis®III是一种灵活的先进主动隔振系统。采用先进的惯性振动传感器，复杂的控制算法和最先进的压电致动器，Stacis通过连续测量地板活动实时取消振动，然后膨胀和收缩压电致动器以滤除楼层运动。最初旨在隔离先进半导体工厂中的精密微光刻，计量和检查设备，Stacis现在是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体Fab，故障分析实验室，纳米技术研究，纳米制造设施和材料研究。Stacis III包括一个新的和改进的数字控制器，DC-2020。使用新的双核处理器和以太网以及前面板上的USB串行端口，这个新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面（GUI）。全球数百个成功安装，Stacis是最振动敏感仪器的理想隔振系统。优势比空气隔离器数百次更硬，Stacis遭受空气隔离系统的局限性。与活动空气系统不同，没有“软”悬架，与内部有源空气隔离系统的工具下方，STACIS可以放置在具有完全优化的系统的工具下方。