使用硬件定位控制器pep®二世

数字 电子 高性能

PEPS®II改进和建立在TMC的专利PEPS®(精密电子定位系统)之上。随着新的数字控制器的添加，PEPS®II更容易使用，提供更多的功能，并有一个改进的用户界面。pep®II是一种数字非接触，高度控制系统的TMC气动隔振系统。这种系统通常包括机械高度阀和机械高度感应联动装置。它的应用范围从半导体制造设备改善沉降时间和提高收率，到要求最佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。数字控制，用户友好的LCD界面•万向柱塞™，CSP®和MaxDamp®隔振系统的非接触电动气动高度控制•z轴位置重复性:•由于消除了传统机械高度控制系统的杠杆接触，提高了隔振性能•气动前馈功能将z轴对X-Y级运动的反应最小化•可调谐以快速解决X-Y级引起的运动•可选的“VX”功能集成了惯性传感器，用于垂直隔离器共振的主动阻尼•“软坞”兼容。允许wafer加载/卸载，无需运动学安装•比例电子阀。无“开关”或传统电子阀门带来的脉冲噪声•管道式排气管道，用于废气的清洁处理•逻辑码头控制和状态