主动防振系统Electro-Damp®II

Electro-DAMP®是专门设计用于提高半导体制造应用中的产量，分辨率和产量的第一种商业主动振动隔离系统。Electro-DAMP II是原始系统的完全重新设计，添加模块化，数字控制，前馈，高力/高间隙执行器，以及专门用于Microprotogical，检验等OEM应用中的多个数字用户界面的多个数字用户界面。计量工具。半导体制造工具将对其隔离系统的需求相冲击。响应地板噪声，系统必须柔软，以有效地过滤地板振动到达隔离的表面。同时，系统必须响应于阶段力而僵硬，使得阶段运动引起隔离表面的最小位移并迅速地稳定。除了采用惯性，有源反馈阻尼，电动潮湿II还使用信息前进来进一步提高系统响应。前馈工作通过从舞台控制器的舞台控制器上获取信息以及加​​速，然后处理数据以提供强制致动到有效载荷，大大减少阶段引起的有效载荷运动。系统可以以数字方式读取前馈信息，作为双极模拟信号，或通过读取正交编码器的输出。DC-2000数字控制器还可以使用舞台测试模式自动调节前馈前的参数。 This makes setup on initial installations, or after changes to the payload, quick and easy.