只有21毫米宽10毫米,高度与集成增量编码器直接测量位置编码器分辨率1最小增量运动2 nm多轴系统设置适配器板或支架(可作为一个选项)10 - 6 hPa适合真空,版本10:9 hPa可用惯性压电驱动惯性压电驱动器是节省空间的和负担得起的piezo-based驱动器与相对较高的部队和一个几乎无限旅游范围。惯性驱动原理是基于单个压电驱动器,该驱动器由特殊驱动电子器件提供的改进锯齿电压控制。执行机构缓慢扩张并移动流道。由于其惯性,流道无法跟随随后的驱动器的快速收缩,并保持在其位置。具有高达20khz的工作频率,驱动器直接作用于转轮,并实现速度最大。10毫米/ s。所有Q-Motion®线性级适用于高真空到10-6 hPa的操作。此外,10-9 hPa超高真空变种也可提供。非磁性版本可根据要求提供。