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压电定位器MS30系列
多轴
微型
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特征
- 类型
- 压电
- 轴数
- 多轴
- 其他特征
- 微型
描述
8毫米的行程以45 x 34 mm占地面积，闭环操作的各种安装可能性（分辨率高达50nm）多轴组合没有适配器板微型翻译级，带有测量系统的压电惯性驱动器。
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