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氧化炉
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输送机
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氧化
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输送机、内阁
大气
控制大气
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这种价格低廉的垂直炉配备了自动输送机,可用于从研发到批量生产4- 8英寸晶圆片的一系列功能。我们已经实现了如此低的价格,以至于后端用户可以引进这种炉。超高温处理是可行的,最适合于动力器件的制造。后端用户低成本设备50到75晶片处理研发可以大规模生产行4 - 8英寸晶片大小可用Max 4盒库存良好的温度控制从低到中等高温度范围使用LGO加热器高速晶片传送使用单一晶片处理机器人配备功能有限的简单控制系统
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