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钢退火RLA-3100-V
大系列

钢退火
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特征

经处理的材料
钢
生产方法
大系列

描述

实现接触退火和GaN衬底处理。支撑6英寸晶片，并在真空（LP）环境/ N2装载锁大气中激活和氧化。特点最高工作温度：1,200°C支持多达6英寸的晶圆尺寸。自动晶片更换机构提供盒式磁带转移。真空支持改善退火特性。N2装载锁支持启用快速周转时间。可以处理GaN基板。
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*价格是税前。它们排除了运费和关税，并不包括安装或激活选项的额外费用。价格仅表明，可能因国家而异，改变原材料和汇率的成本。
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