光学检查机Surfscan系列

表面 对于未成形的晶片 高分辨率

Surfscan®SP7无图案晶圆检测系统支持领先的逻辑和存储设计节点，通过认证:工艺、材料和工具，包括用于EUV光刻的IC制造;用于衬底制造的高级衬底，如主硅、外延和SOI晶圆;以及设备制造的过程工具性能。Surfscan SP7采用峰值功率控制的DUV激光源、新颖的光学架构、一系列光斑尺寸和先进的算法，在光晶片、平滑和粗糙薄膜、易碎电阻和litho叠片的高吞吐量下提供最终的灵敏度和增强的缺陷分类。Surfscan SP7还集成了一个高分辨率SURFmonitor™模块，该模块可以表征表面质量，并检测细微的缺陷，帮助确定工艺和工具的质量。工艺确认，刀具确认，刀具监控，晶圆出片质量控制，晶圆进片质量控制，EUV抗蚀和扫描仪确认，工艺调试必威体育app官方下载无图案晶圆表面检测系统，具有DUV灵敏度和高吞吐量的IC，基片和设备制造在1Xnm设计节点。Surfscan SP5:无模式晶圆表面检测系统，具有DUV灵敏度和高吞吐量，适用于2X/1Xnm设计节点的IC、基片和设备制造。Surfscan SP3:无模式晶圆检测系统，具有DUV灵敏度和高吞吐量，适用于2Xnm设计节点的集成电路、基片和设备制造。