光学检测机29日xx系列

对于有图案的晶圆 高分辨率 缺陷

295x系列宽带等离子体缺陷检测系统在光学缺陷检测方面取得了进步，能够在≤7nm的逻辑和前沿内存设计节点上发现产量关键缺陷。2950和2955宽带等离子体缺陷检测仪使用增强的宽带等离子体照明技术，以及新的像素点™和纳米电池™设计感知技术，提供了捕获一系列工艺层、材料类型和工艺堆的关键缺陷所需的灵敏度。作为在线监测的行业标准，295x系列将灵敏度与光学晶圆缺陷检测速度相结合，实现了光速发现——以最佳的拥有成本快速发现缺陷和全面表征缺陷问题的结合。缺陷发现，热点发现，过程调试，工程分析，线路监控，过程窗口发现