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XY阶段XY200M.
压电 2轴

XY阶段
XY阶段
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特征

方向
XY.
类型
压电
轴数
2轴
中风

分钟：0 mm（0 in）

最大限度。：200毫米（7.874英寸）

描述

描述压电级XY200M基于APA 200M致动器并且具有高刚度。应用包括掩模定位，原子力或扫描隧道显微镜。可用选项应变仪;涡流传感器，真空状态标准

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