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线性定位阶段X60s.
压电
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特征
- 方向
- 线性
- 类型
- 压电
- 中风
-
分钟：0μm
最大限度。：55μm.
描述
描述压电级X60s的行程沿X轴线高达110μm，并且可以配备应变仪，其非常精度高达10nm。可用选项应变仪，真空状态初步
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