3 d轮廓曲线仪ContourGT-X

光学 白光干涉法 控制

ContourGT-X 3D光学轮廓仪为实验室研究和生产过程控制提供了最高性能的非接触式表面测量。融合了十代白光干涉测量(WLI)的创新和设计，该计量系统在业界最大的视场上提供了最高的垂直分辨率。主要功能包括全自动化和生产接口，一个大型电动XYZ舞台，tip/tilt在头部，和一个整体的空气隔离台。ContourGT-X从头设计，以满足最苛刻的研发、质量保证和过程质量控制需求，提供了最终的量具3D光学精度和坚固性。全自动化提供最快、最简单的纳米尺度测量。可定制的生产界面提供流线型的流程工作流、自动化映射和负载测量食谱。自校准激光参考确保最佳的生产计量，重复性和稳健性。ContourGT-X集成了Bruker的尖端/倾斜头专利、自校准激光基准专利、集成模式识别和一系列其他专利干涉计量创新，以提供极其精确的高通量表面计量。该系统的自动化配置可以在几乎任何生产环境中实现快速优化，包括用于提高X、Y、Z晶圆放置精度的空气工作台稳定器套件和PDU、EMO和真空系统集成，以及用于自动装弹机末端执行器兼容的改进真空卡盘。