光学计量
3轴ALS5000 / ATS5000WB / ATS5000
1米x 1米xy，300 mm z旅行
高负荷：80千克
<75 ARC-SEC总角度误差
被动空气隔离
6英尺高A3200机架式控制台
精度：x =140μm，y =2μm，z =2μm
AGS5000WB使用宽体横轴级，以最小化由于有效载荷质量而最小化物理偏转。横轴的宽轴承扩散完全支持垂直和水平运动期间的有效载荷。这最大限度地减少了辊/俯仰/偏航角误差性能偏转，并提供出色的轴精度/可重复性，以及线性直线度/平坦度。AGS5000WB包括所有轴上的线性编码器，用于卓越性能。横轴可以转换为直接驱动轴，以在所有行程方向上提供2μm精度。空气隔离花岗岩可从干扰系统性能中最大限度地减少楼层振动
