Resistência de aquecimento flexível

em硅胶

A linha de gás calefatores de Watlow é projetada regular temperature as em linhas de gás A fim impedir A condensação na linha de gás。O正硅酸四乙酯(TEOS)， O三氯甲烷(BCl3)， O氯甲烷(alumínio)， O trifluórido氯甲烷(ClF3)， O二氯硅烷(DCS) são os gás que condensam ou liquefazem devido a um deslocamento de fase em baixas温度。Em processos do半导体，condensação corre na linha e nas poças de gás na cabeça de chuveiro antes de ser injetada na câmara de vácuo。嗯número importante de defeitos da bolacha ocorrerão se os gás liquefeitos são injetados na câmara de vácuo。O aquecimento unime as linhas com linha de gás calefatores impedirá a condensação。如linhas de TEOS são aquecidas tipicamente acima de 194°F(90°C) e BCl3 acima de 86°F(30°C)，第二根做pressão e o尾。A linha A melhor temperature atura variará segundo os parâmetros de processo。