Sistema de distribuição de gás迷你ODS

O迷你ODS é um sistema e compact acto e integrado de fornecmenento de ozono concebido para produzir concentrações de ozono de 21% p/p, 320g/Nm3 para uma vasta伽马de aplicações de wafer de processamento。É um sistema de entrega de ozono muito compacto mas complete，包括:um gerador de ozono de alta pureza, monitor de ozono de alta concentração, controlador baseado em微处理器，e todos os reguladores e pneumáticos necessários。另外，é expansível对ozônio的支持是:根据不同的分类群(níveis de concentrações de ozônio e fluxo分类群)所做的独立过程。请到sistema é fácil我们的经理。Não há consumíveis ou requisitos para manutenção preventiva O Mini ODS também pode fazer interface com um analisador de ozônio dissolvido, normalmente necessário em processos úmidos对位星座seguranca避署,颇得ser intertravado com os探测器multicanal de vazamento de ozonio Teledyne API e os sub-sistemas de destruicao做ozonio Caracteristicas -设计compacto Produz concentracoes de O3优越的p / p - 21% Montavel em架de 19“ou tampo de台面-成本的浅滩de propriedade / sem consumiveis Solucao totalmente integrada, incluindo:-热拉多尔的臭氧de Alta Pureza -臭氧de Alta分析Concentração -控制伺服的电路费查多- Oxigênio MFC - Nitrogênio MFC -调节器Contrapressão - Válvula de desvio eletropneumática