Envernizadora de film plástico

Revestimento piloto PECVD Aplicação O Revestimento piloto PECVD destination -se à produção de pilhas p-i-n de silício hidrogenado amorfo em folhas de metal。O coatar é usado como uma ferramenta de experimentação para a otimização da deposição de vapores químicos plasmáticos melhorados de revestimentos funcionais e produção de materiais de teste。Engenharia e technologia O revestimento piloto PECVD é uma instalação do tipo rolo rolo projetada para revestimento a vácuo单边de folhas metálicas de até 350 mm de largura。请重新阅读é deposit por uma descarga de RF。deposição的区域包括音量为gás的电极。如condições livres de contaminação são fornecidas nas zonas de deposição。请按é pré-aquecido antes da deposição做revestimento, durante O processo de deposição e resfriado após O revestimento。树叶的温度梯度não超过4 oC/cm。温度分布elétricos，曲线底板são监测传感器的com。下面是é mecanicamente suportado por uma placa curvada aquecida。 A placa curva é composta por vários segmentos com um raio de curvatura de 7,5 metros. O coater está equipado com um sistema de enrolamento reversível simétrico que proporciona tensão e manuseio otimizados da folha sem arranhar e enrugar. O sistema de bombeamento é composto por bombas de reforço mecânico e bombas de desbaste a seco. A pressão em cada zona de depósito pode ser variada independentemente com válvulas de acelerador colocadas nas linhas de bomba. O sistema de controle monitora e controla todos os parâmetros de processo especificados. Ficha de Dados Substrato: folhas de metal Largura do substrato: 350 mm Espessura do substrato: 50 ... 100 µm Revestimento: a-SiH Diâmetro máximo do rolo: 400 ... 550 mm Zonas de depósito: 8 descargas capacitivas de RF