Máquina de deposição por PVDMulti950

PECVD 为什么pulverizacao catodica 一个真空

Máquina do depósito de vácuo de PVD + de PECVD, equipamento da estrutura PVD do poliedro, fontes múltiplas depósito Propriedades da máquina Multi950: Pegada compacta, Projeto模块化padrão, Flexível, Seguro, Câmara Octal, estrutura de porta 2 para o bom acesso, Processos de PVD + de PECVD。Características de projeto: 1。Flexibilidade: O arco e os cátodos engasgar, flange de montagem da fonte de íon são standard ardizados para a troca flexível;2.多种多样的:收藏各种各样的西甲葡萄酒;Revestimentos óticos, Revestimentos duros, Revestimentos macios, films compostos e films de lubrificação contínuos nas carcaças metálicas e não metálicas DOS materiais。3.导演计划:第2个入口，第2个入口，第5个入口，第5个入口，第5个入口manutenção fácil。A máquina Multi950 é um sistema personalizado do depósito de vácuo das funções do múltiplo para o R&d。Com discussão do meio ano Com a equipe de Shanghai de universidade Chen教授，nós确认最后一个项目为configurações para cumprir o seu aplicações do R&D。 Este sistema pode depositar o filme transparente de DLC com processo de PECVD, revestimentos duros em ferramentas, e o filme ótico com engasgar o cátodo. Baseado neste conceito de projeto piloto da máquina, nós desenvolvemos outros 3 sistemas de revestimento após então: 1. Revestimento bipolar da placa para os veículos bondes FCEV1213 de Fuel Cell, 2. cerâmico dirija o cobre chapeado DPC1215, 3. sistema flexível RTSP1215 engasgar.