射频源原子对位oxigenio atomico e nitrogenio atomico Perdas de energia minimizadas devido ao设计otimizado带de descarga e fabricada com材料de alta qualidade garantindo乌玛contaminacao最小值达椽Configuracao de corrente de iao零科莫padrao阿塞夫德材料compostos de alta qualidade requer,理想的话,Espécies neutras e atômicas。考虑到气体分子,可以是oxigénio也可以是azoto,可以是反应性的最重要的形式,它们是不可逆的atómica。在这里输入formação de óxido usando oxigênio分子的正常温度要求与其他的温度相同períodos de oxidação, enquanto o nitrogênio分子的正常温度要求与其他的物质相同。如espécies解离estão为一种有效的治疗方法,可以允许óxidos为一种植物栽培方法pressão为一种温度razoáveis为一种基质。没有entanto,如espécies iónicas geradas em processos de plasma tendem a ser energéticas e, possivelmente, a criar defeitos pontuais。如espécies atómicas transportam uma energia cinética negligenciável e, Por conguinte, permitem um crescento rápido da película sem gerar defeitos。
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