字体e de feixe de elétrons para microscópio eletrônico de varreduraSEM 20

A fonte do elétron para SEM e eixo helicoidal experimenta com o tamanho de ponto melhor de 20 nanômetro 25 na corrente do feixe do nA do feixe voltage/0.5 do quilovolt, na distância de funcionamento de 25 milímetros. fonte térmica do elétron da emissão de campo de 1 - 25 keV (emissor), nA >100 atual do feixe máximo de Schottky. Coluna de focalização eletrostática com sistema de lente dobro, quadrupoles do alinhamento do feixe, as placas anulando do feixe, e o octopole para a deflexão e o stigmation. A corrente do feixe é continuamente ajustável por uma abertura da variável do elétron-ótico. A facilidade atual da medida do feixe interno anulando em uma abertura do copo de Faraday conectou a uma passagem de B. Válvula de isolação pneumàtica operada da coluna. Vácuo exigido <1 x da área de fonte 10-8 mbar. CF portuários de bombeamento do nanowatt 35 (2 “OD) no lado da câmara da fonte. Bakeable a 180 CF do nanowatt 63 da flange de montagem do C. (4” OD).