Sistema de medição de espessura de revestimentos

de比索 3 d 帕拉paineis

DETALHES Medição da Espessura do Revestimento e control de Qualidade A tabela de medição do painel oferece uma rápida determinação da distribuição de gravação após processos de gravação diencial ou o acúmulo de Revestimento de superfícies de cobre。如medições são realizadas de forma totalmente automática por um传感器电阻após a introdução dos parâmetros de entrada。后面的内容，我们可以在medição são avaliados por PC e convertiem diagram 3D，包括indo uma ferramenta de estatística。BENEFÍCIOS Preciso e repetível: a medição totalmente automatizada evita o ieio manual e errros de operação Rápido: 100 pontos de medição em 3.5分钟Flexível:comomoda format de painéis variáveis control de qualidade dos processos de gravação e revestimento Os desvios de processo são fáceis de detect e corrigir Redução da perda de rendito por detecção precoce TEC。不同Dimensoes: 1200 x 1120 x 1210毫米(C x L)比索:200公斤Tamanho maximo painel: 650 x 650毫米Faixa de medicao: espessuras德图1µm - 120µm medicao de tolerancias: 0.1µm - 10µm Camada德铜0、1µm - 5µm:±0075µm Camada德铜5µm - 10µm:±< 1,5% 5µm - 120µm Camada德铜5µm - 50µm:±0 5µm Camada德铜50µm - 80µm:Camada de Cu 80µm - 120µm:±< 2%