Fonte de íons阳极离子源

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Descricao

Fonte de íons ânodo (Fonte de íons bar) A mudança环境变化的温度é pequena,特别的benéfica底部变化的温度sensíveis à温度,空间变化pressão能量调整的变化,组合的必要条件espaço环境变化的基础变化instalação。1.Limpeza do substrato não metálico: Limpeza dos impuantes supericiais (óxidos, hidrocarbonetos等)do substrato, aumento da força de ligação da base do filme, redução dos defeitos do substrato, aumento da energia浅层do substrato等2。Melhorar类群de ionizacao做气体:ionizar o气体de trabalho科莫deposicao assistida为什么离子没有processo de pulverizacao de magnetroes e, ao mesmo节奏,Melhorar capacidade de migracao e difusao das particulas filme na superficie, o, e benefico para formacao de乌玛estrutura de filme电装。3.电影de deposição: Deposição directa de DLC e películas ópticas, óxidos, nitretos等。

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