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piezoeletrica 目的是microscópio 德阿尔塔precisao

-电子计量电容传感器- dinâmica para objective as grandes - Freqüência ressonante 1120 Hz, 560 Hz com carga de 210 g - Típico Passo e Caldeira de 6 ms - Alcance de curso 100µm- Sistema de guia flexível de alta precisão, sem atrito，para melhor estabilidade do foco Campos de aplicação Microscopia de super-resolução Microscopia de disco de luz Microscopia confocal Imagem 3D Peneiramento interferometriia Tecnologia de medição Sistemas de focagem automática Biotecnologia Ensaios de semiconductors Resolução subnanométrica com sensors capacitivos sensors capacitivos medem comResolução subnanométrica sem contato。它的运动是线性的，它建立了一个很长的时间。Configuração automática e troca rápida de componentes Mecânica e controladores podem ser combados conme necessário e trocados rapidamente。Todos os parâmetros de servo e linearização são armazenados no chip de identificação do conector Sub-D da mecânica。一个função de autocalibração dos controladores digitais utilities estes dados sempreque o controlador é ligado。